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多晶硅片的回收加工注意事项

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多晶硅片的回收加工注意事项

发布日期:2016-05-06 作者: 点击:

硅片的回收加工,可以概括为三个方面:

1、能够对物理性能,包括尺寸形状、平整度等,或者是材料性能进行修正;
2、能够避免表面损伤;
3、能够消除表面的脏污,以及杂质颗粒等。
对于这三个方面,其目的是为了减少对硅片的污染。

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